L’UL6000 Fab PLUS d’INFICON rend les tests d’étanchéité de fabrication de semi-conducteurs encore plus rapides

Cologne, Allemagne–(CHEF D’ENTREPRISE)–INFICON GmbH, basée à Cologne, l’un des principaux fabricants mondiaux d’équipements et d’instruments de test de fuite, présente la dernière génération de capteurs de fuite mobiles destinés à être utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, de cellules solaires et d’écrans plats. La nouvelle version UL6000 Fab PLUS ajoute un autre record de vitesse par rapport à l’UL6000 Fab grâce à la nouvelle fonction intelligente I∙RISE. Le processus de détection et de réparation des fuites est toujours suivi d’un test d’étanchéité complet de l’outil de production avec un test de vitesse de montée. L’UL6000Fab PLUS effectue désormais les deux tâches : détection des fuites et mesure de la montée en pression. À cet égard, I∙RISE a un énorme avantage en termes de vitesse. Un test de vitesse de montée conventionnel, ou soi-disant décroissance du vide, sur un grand outil de production de vide utilisant un capteur de pression externe peut prendre plusieurs minutes, voire des heures, et la nouvelle fonction I∙RISE effectue ce test en 10 secondes. Outre I∙RISE, l’utilisation de pompes à haut rendement est également la raison pour laquelle les unités de la série UL6000 Fab sont souvent amorties après quelques utilisations : grâce à la vitesse record de leurs détecteurs de fuites, elles réduisent, par exemple, les interruptions de production. et les temps d’arrêt. à un minimum absolu lors de l’entretien programmé de l’outil.

Le système de test de fuite le plus rapide et le plus sensible du marché

La vitesse extrêmement élevée avec laquelle les détecteurs de fuites INFICON effectuent un test de fuite à l’hélium dans de grandes chambres à vide est caractéristique de l’UL6000 Fab, qui est toujours disponible. Les deux unités de la série UL6000 Fab sont équipées d’une pompe turbomoléculaire innovante qui pompe l’hélium à un débit de plus de 36 litres par seconde. Cet énorme débit de pompage d’hélium permet au détecteur de fuites de réagir extrêmement rapidement et la montée et la descente du taux de fuite sont très courtes. En tant que pompe d’enracinement, INFICON a installé une pompe d’enracinement très performante avec une capacité de pompage de 36 m³ par heure, ce qui permet le temps d’évacuation le plus court. Sa vitesse de pompage d’air est beaucoup plus élevée que les autres pompes à racine dans une large plage de pression, en particulier dans la plage de vide grossier. Cela offre un avantage de vitesse de plusieurs minutes par test, en particulier pour les gros outils de production avec des volumes allant de 50 à 1000 litres ou plus. La sensibilité de la série UL6000 Fab est également inégalée : les appareils détectent même les plus petites fuites jusqu’à une taille de 5 ∙ 10-12 mbar∙l/s avec une fiabilité totale. Tout cela a déjà fait de l’UL6000 Fab le système de test d’étanchéité le plus rapide et le plus sensible du marché. En pratique, il n’est surpassé que par le nouveau UL6000 Fab PLUS – grâce à la fonction I∙RISE intégrée et plus rapide que jamais pour le test d’étanchéité intégré de tout outil de fabrication sous vide.

I∙RISE : gain de temps extrême dans les tests de vitesse de montée de la chambre à vide

Les dispositifs à semi-conducteurs et à vide sont contrôlés en permanence pendant le fonctionnement avec des tests de vitesse de montée. Lorsqu’une fuite est détectée au cours de ce test de fuite complet, il n’est souvent pas facile de déterminer lequel des nombreux raccords, œillets, soudures et vannes est à l’origine de la fuite. Pour la détection des fuites, l’UL6000 est connecté aux chambres Fab PLUS et un test de pulvérisation d’hélium est effectué pour trouver d’éventuelles fuites. Si de l’hélium pénètre dans le vide de l’appareil en position spray, il est certain que la fuite a été trouvée. Afin de déterminer si cette connexion est la seule fuite ou s’il y en a d’autres, un test de taux de montée supplémentaire doit être effectué immédiatement après la réparation de la fuite. Le nouveau UL6000 Fab PLUS permet de gagner beaucoup de temps dans ce scénario en étant capable d’effectuer la méthode de pulvérisation d’hélium et le test de vitesse de montée juste après l’autre. De plus, grâce à la nouvelle fonction I∙RISE, le capteur de fuite connecté transfère l’augmentation de pression du grand volume de la chambre de production à son petit volume interne – ce qui accélère énormément le test intégré. La durée du test de vitesse de montée dépend de la taille de la chambre à vide testée. En conséquence, l’expérience avec l’équipement sous vide lui-même augmente le temps de production perdu. La fonction intelligente I∙RISE de l’UL6000 Fab PLUS effectue ce test complet en seulement 10 secondes. I∙RISE garantit ainsi un gain de temps extrême, notamment pour les gros volumes d’équipements de production.

Plus d’informations peuvent être trouvées sur : https://www.inficon.com/ul6000

Informations sur INFICON

INFICON est l’un des principaux fournisseurs d’instruments innovants, de technologies de détection critiques et de solutions logicielles Smart Manufacturing/Industrie 4.0 qui améliorent la productivité et la qualité des outils, des processus et des usines complètes. Ces produits d’analyse, de mesure et de contrôle sont essentiels pour la détection de fuites de gaz dans les applications de climatisation/réfrigération et automobiles. Ils sont cruciaux pour les fabricants d’appareils et les utilisateurs finaux dans la production de semi-conducteurs et de revêtements en couches minces pour l’optique, les écrans plats, les cellules solaires et les revêtements sous vide industriels. Parmi les autres utilisateurs de processus basés sur le vide figurent les sciences de la vie, la recherche, l’aérospatiale, l’emballage, le traitement thermique, la découpe au laser et de nombreux autres processus industriels. Nous tirons également parti de notre expertise dans la technologie du vide pour fournir des produits d’analyse chimique toxique uniques pour les interventions d’urgence, la sécurité et la surveillance environnementale.

INFICON a son siège social en Suisse et possède des installations de fabrication de classe mondiale en Europe, aux États-Unis et en Chine, ainsi que des filiales en Chine, au Danemark, en Finlande, en France, en Allemagne, en Inde, en Italie, au Japon, en Corée, au Liechtenstein, à Singapour, en Suède, Suisse, Taïwan, Royaume-Uni et États-Unis. Les actions INFICON (IFCN) sont cotées à la bourse suisse SIX. Pour plus d’informations sur INFICON et ses produits, visitez www.inficon.com.

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